Laser and Particle-Beam Chemical Processing for Microelectronics: Volume 101

Laser and Particle-Beam Chemical Processing for Microelectronics: Volume 101

Ehrlich, Daniel J.
Higashi, Gregg S.
Oprysko, Modest M.

30,65 €(IVA inc.)

TGM

  • ISBN: 978-1-107-41104-3
  • Editorial: Cambridge University Press
  • Encuadernacion: Rústica
  • Páginas: 534
  • Fecha Publicación: 05/06/2014
  • Nº Volúmenes: 1
  • Idioma: Inglés